网站公告:
欢迎广大的新老客户前来上海自动化仪表三厂网站,详细产品请来电咨询 销售热线:021-56550680
全国服务热线:021-56550680
新闻资讯 News
联系我们 CONTACT US

电话:021-56550680

邮箱:ziyi3c@163.com

地址:上海市闸北工业园区

新闻动态
当前位置:上海自动化仪表三厂首页 > 新闻动态 > 上自仪三厂专注于半导体加工设备的散热解决方案
上自仪三厂专注于半导体加工设备的散热解决方案
添加时间:2020-10-26

欢迎!上海自动化仪表三厂的核心技术和先进的散热解决方案可提供卓越的性能 - 为客户提供行业优势。在这里,我们将专注于半导体加工设备的散热解决方案。未来的问题将关注分析仪器,食品服务设备,医疗设备,塑料和加工行业的散热解决方案。


    半导体加工 - 精密热管理和控制

    半导体器件制造需要多个光刻,沉积和蚀刻步骤。过程温度控制对于成功生产设备及其性能规格至关重要。这适用于所有半导体器件,尤其是存储器件和其他集成电路(IC),其性能取决于存储器容量和处理速度。新一代半导体器件正变得越来越小,越来越复杂。随后,制造每一代新一代半导体器件都需要更多创新和精确的温度控制。


    创新的基座加热器技术

    晶圆夹头和基座加热器在为半导体原始设备制造商开发散热解决方案方面的第一次经验是在20世纪90年代初期开发的用于化学气相沉积,光刻,蚀刻和晶圆测试设备的铸铝基座加热器。100和150 mm晶圆加工的早期应用是上自仪三厂持续热研究和开发的基础。凭借在原位真空应用中设计和制造金属基座加热器的核心竞争力,上海仪表三厂成为首选的热解决方案供应商。随着行业向300mm制造设备和尺寸线宽度和间距减小方向发展,创新解决方案仍在继续。



    热工程,创新和新技术

    1965年,英特尔公司和飞兆半导体公司的联合创始人戈登·E·摩尔观察到,每个集成电路的晶体管数量每两年就会增加一倍。这一观察成为所谓的摩尔定律,也是今天仍然有效的半导体技术路线图指南之一。加倍很容易说,但它也伴随着许多技术挑战和新发展。


    与此同时,上海自动化仪表三厂面临着开发下一代散热解决方案的挑战。最近,我们开发出新的核心热技术,符合下一代半导体器件的性能,制造和成本要求。这些技术真正代表了对旧加热器和温度控制技术的改进。


    气体和消减线热解决方案

    上自仪三厂温度变送器和泡沫绝缘硅橡胶加热解决方案旨在优化半导体真空消除系统的性能。


    温度变送器是一种正在申请专利的集成变送器,与传统解决方案相比,可降低热系统的复杂性和成本。在一个变送器中组合多个传感器输入,包括过程温度,极限温度和电流感测,允许监测并联连接的多个加热器。该设计用于维护人员可能无法轻易到达的偏远地区,包括一个灯条,可提供系统健康状况的直观指示。其他功能包括Modbus RS-485通信,数字输入/输出,高/低报警输出和斜坡/保温温度曲线。


    泵管加热器

    加热器和绝缘系统,上自仪三厂开发了正在申请专利的先进加热器技术,因为半导体设备行业的工程师需要符合下一代制造工艺规范的散热解决方案,同时降低热系统成本。泵管加热器有标准ID尺寸直径1.0,1.5,2.0,4.0和6.0英寸直管段,弯头,三通,减速器和法兰。加热器也可以根据阀门,调节器和其他气体输送和泵管组件的尺寸轻松设计。



    氮化铝(AlN)加热器技术

    多层AlN冷水机技术超纯高性能先进陶瓷材料对于加工下一代半导体器件至关重要。杜蕾斯认识到开发加热器技术的好处,该技术将补充2017年AlN的物理特性。热膨胀系数,热传递,硬度和对大多数化学品的耐受性使AlN成为原位真空和其他半导体应用的首选材料。



    一个例子是上海自动化仪表三厂开发了一种新的基于冷却器技术的氮化铝(AlN)陶瓷加热器技术,其中嵌入了钨热电阻传感器。这项正在申请专利的极端陶瓷冷水机/加热器能够:

    在200至每秒200°C的温度下加热至100°C至450°C。

    在每秒100°C的温度下从450到100°C冷却。

    该性能基于多层单片陶瓷技术,可包括加热器,冷却微流体,热电阻传感器,接地层和其他层。AlN的高导热性和低温膨胀性能可实现快速的温度响应。快速加热/冷却冷却器的应用在半导体设备和分析仪器中很常见。

本文由上海自动化仪表三厂:http://www.shangyi3c.com推荐,转载请注明出处 推荐产品:热电偶 电磁流量计 磁翻板液位计 上海雷磁


cache
Processed in 0.006860 Second.